Diferența dintre PVD și CVD

PVD vs CVD

PVD (depunerea fizică prin vapori) și CVD (depunerea chimică prin vapori) sunt două tehnici care sunt utilizate pentru a crea un strat foarte subțire de material într-un substrat; denumite în mod obișnuit filme subțiri. Ele sunt utilizate în mare măsură în producția de semiconductori, în care straturile foarte subțiri de tip n și de tip p formează intersecțiile necesare. Principala diferență dintre PVD și CVD sunt procesele pe care le utilizează. După cum probabil ați dedus din nume, PVD folosește numai forțe fizice pentru a depune stratul, în timp ce CVD utilizează procese chimice.

În PVD, un material sursă pur este gazificat prin evaporare, prin aplicarea energiei electrice de înaltă putere, prin ablația laser și prin câteva alte tehnici. Materialul gazificat va condensa apoi pe materialul substrat pentru a crea stratul dorit. Nu există reacții chimice care să aibă loc în întregul proces.

În CVD, materialul sursă nu este de fapt pur, deoarece este amestecat cu un precursor volatil care acționează ca un purtător. Amestecul este injectat în camera care conține substratul și apoi este depozitată în acesta. Când amestecul este deja aderent la substrat, precursorul se descompune în cele din urmă și lasă stratul dorit al materialului sursă în substrat. Produsul secundar este apoi îndepărtat din cameră prin fluxul de gaz. Procesul de descompunere poate fi asistat sau accelerat prin utilizarea căldurii, a plasmei sau a altor procese.

Fie că este vorba de CVD sau de PVD, rezultatul final este în esență același, deoarece ambele formează un strat foarte subțire de material în funcție de grosimea dorită. CVD și PVD sunt tehnici foarte largi, cu un număr de tehnici mai specifice sub acestea. Procesele reale pot fi diferite, dar scopul este același. Unele tehnici pot fi mai bune în anumite aplicații decât altele datorită costurilor, ușurinței și a variatelor alte motive; astfel încât acestea sunt preferate în acea zonă.

Rezumat:

1. PVD utilizează procese fizice numai în timp ce CVD utilizează în primul rând procese chimice
2. PVD utilizează în mod obișnuit un material sursă pură, în timp ce CVD utilizează un material cu sursă mixtă